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硅烷即硅与氢的化合物，无色气体，有大蒜恶心气味，是一系列化合物的总称，包括甲硅烷、乙硅粽和一些更的硅氡化合物，其中，甲硅烷为常见，有时也将甲硅烷简称为硅烷，硅烷是一种有毒的气体，有它存在的场合，需要进行高精度的硅烷检测，确保操作人员安全。
硅烷检测时的注意事项:
1、系统温度不可低于-170℉ (-112℃)，否则可能会吸入空气形成爆炸性混合物；
2、不要让硅烷与重金属卤化物或卤素接触，硅烷与它们剧烈反应，应仔细吹扫系统，以防残留有脱脂剂，其中所含的卤素或其他含氯的碳氢化合物；
3、用二至三倍的工作压力对系统进行加压检漏，使用氦气。此外，还应建立和执行常规的检漏制度；
4、系统检漏或因其他原因打开之后，应使用抽真空或惰性气体吹扫的方法将系统中的空气吹扫干净，在打开任何装有硅烷的系统之前必须用惰性气体吹扫系统，如果系统中的任何部分有死角或可能残留硅烷的地方，必须抽真空循环吹扫；
5、应将硅烷排放到一个处理它的地方，是将它燃烧掉，即使硅烷浓度较低也十分危险，不能暴露在空气中，硅烷在被惰性气体稀释成不可燃的气体后也可以排空。

关于硅烷测定方法的标准：
1、ASTM D5095-91(2022) 测定砖石防水处理用硅烷、硅氧烷和硅烷-硅氧烷混合物中不挥发物含量的标准试验方法；
2、ASTM D8362-21 用动态应变软化法测定橡胶硅烷化程度的标准试验方法；
3、ASTM D8362-20 橡胶的标准试验方法&x2014；动态应变软化法测定硅烷化程度；
4、ASTM D6843-2010 橡胶配方(双-(三乙氧甲硅烷丙基)硫烷)中使用的硅烷的标准试验方法：气相色谱法(GC)进行特性测定；
5、ASTM D5095-1991(2013) 测定砌筑水排斥处理用硅烷, 硅氧烷和硅烷-硅氧烷混合物中非挥发物的标准试验方法。

硅烷检测范围：
1、硅烷、硅烷气体、废气硅烷、卤代硅烷、改性硅烷、纳米硅烷、**基氯硅烷、硅烷膜等；
2、性状、密度、相对蒸汽密度、熔点、沸点、蒸发热、融化热、生成热、比热容、临界温度、临界压力、溶解性、稳定性等。

硅烷检测部分标准：
1、GB/T 38866-2020电子工业用二氯硅烷；
2、GB/T 35501-2017工业用甲基**氧基硅烷；
3、GB/T 35498-2017工业用乙烯基三氯硅烷；
4、GB/T 35500-2017 3,3,3-三氟丙基甲基二甲氧基硅烷；
5、GB/T 15909-2017电子工业用气体，硅烷；
6、GB/T 30304-2013工业用甲基苯基二氯硅烷；
7、GB/T 30302-2013工业用苯基三氯硅烷；
8、GB/T 24796-2009环己基甲基二甲氧基硅烷；
9、GB/T 15909-2009电子工业用气体，硅烷(SiH4)；
10、GB/T 24416-2009二环戊基二甲氧基硅烷；
11、DB37/T 4383——2021混凝土结构硅烷浸渍技术规程；
12、HG/T 5622-2019工业用二异丙基二甲氧基硅烷；
13、HG/T 5621-2019工业用二异丁基二甲氧基硅烷；
14、HG/T 5720-2020工业用二苯基二氯硅烷；
15、YS/T 1290-2018多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定气相色谱法。
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